蒸着とは?CVDとPVDの違いは?

蒸着とは?蒸着、CVD、PVDの違いは?

 

当サイトのメインテーマであるリチウムイオン電池の性能として内部抵抗サイクル寿命フロート寿命過充電を始めとした安全性などが挙げられます。

 

これらの性能に大きく影響を与えるパラメータとして、電池の構成材料や組成、電極の多孔度などの電極構造などが挙げられます。

 

そして、電池の正極中の導電剤助剤として使用されるVGCF(気相成長炭素繊維)を合成する場合などにCVD(化学蒸着)と呼ばれる技術が使用されたり、電池構成材料である電極などの表面状態をSEMで観察しようと樹脂に含浸して観察用サンプルを作製し、SEMで観察する前の前処理として蒸着を使用することがあります。

 

こちらのページでは、蒸着、CVD、さらには似た用語であるPVDに関して解説しています。

 

・蒸着とは?

 

・CVD、PVDとは?

 

というテーマで解説しています。

 

 

蒸着とは?

蒸着とは、特定の物質Aを蒸発させ、その蒸発させた物質Aを他の物質Bに化学的、もしくは物理的に吸着させて、物質B上に薄膜を形成する方法のことを指します。

 

物質BはCDや半導体のような基板をイメージし、その上の薄膜が物質Aとイメージすると良いでしょう。

 

また、目的物質に薄膜を形成することは一般的にめっきとも呼ばれており、めっきは液中で薄膜を形成する技術と言え、別名湿式めっきとも呼ばれます。

 

これに対して、気相中で薄膜を形成することを蒸着と呼び、別名乾式めっきとも呼ばれます。

 

そして、上述のように蒸着は主に、化学反応を用いる蒸着か、物理反応を用いる蒸着かで区別され、化学反応を用いる蒸着のことをCVD、物理反応を用いる蒸着のことをPVDと呼びます。

 

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CVD、PVDとは?CVDとPVDの違いは?

 

CVDとはChemical Vapor deposition の略であり、訳すと化学気相蒸着、化学気相成長、化学蒸着などと呼ばれ、蒸着の一種のことを指します。

 

蒸着の項で解説しました物質Aにあたるもの、つまり蒸着をする物質をガス中に含ませ、ガスを流し、熱をかける等の最適条件により、蒸着させたい物質(物質B)の表面で物質Aと化学反応をおこすことにより蒸着させる方法のことを指します。

 

半導体の薄膜形成にはこのCVDが主に使用されています。

 

これに対して、PVDとはPhysical Vapor deposition の略であり、訳すと物理気相蒸着、物理気相成長、物理蒸着などと呼ばれ、蒸着の一種のことを指します。

 

(※以下工事中)

 

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